Патенты автора Петров Георгий Николаевич (RU)

Изобретение относится к технологии получения высокочистого трихлорсилана, применяемого в качестве источника кремния в технологиях микроэлектроники и наноэлектроники

Изобретение относится к области энергетики и может быть использовано для преобразования энергии потока в электроэнергию или для выполнения механической работы

 


Наверх