Патенты автора Петров Георгий Николаевич (RU)
Изобретение относится к технологии получения высокочистого трихлорсилана, применяемого в качестве источника кремния в технологиях микроэлектроники и наноэлектроники
Изобретение относится к области энергетики и может быть использовано для преобразования энергии потока в электроэнергию или для выполнения механической работы