Патенты автора Логинов Борис Борисович (RU)
Использование: для функциональных устройств. Сущность изобретения заключается в том, что пленка двуокиси кремния на кремнии представляет собой двухслойную структуру, состоящую последовательно из слоя пористой двуокиси кремния и слоя монолитной двуокиси кремния, расположенную на кремниевой подложке, при этом слои имеют единый химический состав, соответствующий стехиометрии SiO2, различную геометрию структурной сетки, которая сохраняет однородность в пределах слоя, но изменяется на границе раздела слоев. Технический результат - обеспечение возможности химической однородности по всему объему пленки, а также получение совершенной границы раздела как между слоями, так и на границе Si/SiO2. 2 н. и 3 з.п. ф-лы, 3 ил.
