Патенты автора Сергиенко Анатолий Иванович (RU)
СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ОТМЫВКИ И СУШКИ ПОДЛОЖЕК // 2510098
Изобретение относится к технике индивидуальной обработки подложек и может быть использовано при производстве изделий электронной техники. Сущность изобретения заключается в том, что в способе отмывки и сушки подложек каждую подложку устанавливают на носитель, опускают в ванну отмывки с деионизованной водой до полного погружения подложки, затем медленно поднимают из воды в камеру сушки, отмывая ее с помощью мегазвукового излучения, а в момент выхода подложки из воды подают пары органического растворителя на границу раздела ванны и воздушной среды камеры и сушат. Новым в способе является то, что на носителе подложек создают зоны точечных контактов двух торцов подложки с носителем, устанавливают подложку на носитель таким образом, что нижний торец подложки расположен под определенным углом к горизонтали, опускают подложку в ванну отмывки непрерывно, а при подъеме подложки мегазвуковое излучение направляют на всю ширину подложки. Изобретение позволяет повысить качество отмывки и сушки подложек, расширить технологические возможности устройства, упростить аппаратурную реализацию процесса обработки, а также повысить надежность и производительность обработки. 2 н.п. ф-лы, 9 ил.
Изобретение относится к области обработки металлов давлением, в частности к технике перфорирования тонкой металлической ленты из драгоценного металла (золото, серебро), и может быть использовано для изготовления коммутационных шин фотопреобразователей (ФП) при сборке панелей солнечных батарей (СБ), а так же в полупроводниковом производстве в технологии изготовления микро- и наносистем. Механизм вырубки ленты выполнен в виде корпуса с поперечным пазом для размещения ленты и цилиндрическим каналом, в котором установлен пуансон с возможностью возвратно-поступательного перемещения в горизонтальной плоскости. На вырубном конце пуансона установлен подпружиненный прижим, взаимодействующий с матрицей, установленной соосно пуансону в том же канале. Матрица выполнена с окном соответственно и соразмерно вырубному концу пуансона, а так же с каналами для создания разряжения в ее полости. При этом полость соединена с блоком вакуумного сбора вырубных частей ленты. Лентопротяжный механизм содержит шаговый электродвигатель и прижимной эластичный ролик, установленный на оси пневмопривода и взаимодействующий с валом шагового электродвигателя, с которым через ременную передачу соединена втулка второй приемной катушки. Повышается надежность устройства и точность перфорирования. 5 ил.
Изобретение относится к устройствам локального травления тонких пленок микроэлектроники
ПОЛОСОВОЙ ОТВАЛ ПЛУГА // 2426290
Изобретение относится к сельскохозяйственному машиностроению, в частности к почвообрабатывающим орудиям
Изобретение относится к области металлургии и сварки, в частности к составу легированных сталей, которые применяются при изготовлении сварочной проволоки для электросварки броневых сталей
