Патенты автора Князьков Дмитрий Юрьевич (RU)
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ГОЛОГРАММЫ РИСУНКА // 2539730
Изобретение относится к области микролитографии. Рисунок преобразуют в растр в цифровой форме и записывают информацию об амплитуде и фазе, характеризующих каждую точку растра. Рассчитывают необходимые параметры элементов голограммы, для чего переводят элементы цифрового растра изображения рисунка в цифровой растр будущей голограммы. В каждой точке будущей голограммы рассчитывают картину дифракции. Рассчитывают интерференционную картину, полученную от взаимодействия расчетной картины дифракции с расчетным волновым фронтом от виртуального опорного источника излучения. Определяют функцию пропускания голограммы и выделяют в ней области, которые после бинаризации дадут прозрачные элементы недопустимо малого размера, физически не пропускающие свет, после чего изменяют функцию пропускания, обеспечивая увеличение размера этих элементов. Полученный результат используют для формирования дифракционной структуры голограммы на носителе и создают голограмму в виде набора прозрачных дискретных элементов в непрозрачном слое, нанесенном на прозрачную подложку. Проводят оптическую коррекцию увеличенных элементов, обеспечивающую пропускание этими увеличенными элементами количества света в соответствии с первичной функцией пропускания. Коррекцию осуществляют путем размещения на непрозрачном слое слоя поглощающего вещества с известным коэффициентом поглощения для восстанавливающего изображения излучения, а области над неувеличенными элементами выполняют в нем прозрачными. Технический результат - получение рисунка с высокими технологическими параметрами, повышение контраста получаемого рисунка и снижение уровня шума. 12 з.п. ф-лы.
Предложен cпособ изготовления голографических изображений рисунка. В способе преобразуют изображение рисунка в растр в цифровой форме. Записывают информацию об амплитуде и фазе, характеризующих каждую точку растра как протяженный или точечный излучатель. Рассчитывают параметры записывающего пучка излучения для чего переводят элементы цифрового растра изображения рисунка в цифровой растр будущей голограммы. Рассчитывают картину дифракции в каждой точке будущей голограммы, создаваемую от всей совокупности излучателей. Рассчитывают интерференционную картину, полученную от взаимодействия расчетной картины дифракции с расчетным волновым фронтом от виртуального опорного точечного или протяженного источника излучения, идентичным обращенному реальному волновому фронту источника, который будет использоваться при формировании голографического изображения рисунка. Используют полученный результат в качестве сигнала модуляции пучка излучения, используемого для формирования дифракционной структуры голограммы на носителе, и создают голограмму. Используют построчное сканирование носителя пучком излучения, модулированным по интенсивности, по его диаметру и распределению интенсивности внутри записывающего пятна. Техническими результатами являются уменьшение отклонений геометрии рисунка от заданного, увеличение разрешающей способности надежности записи временного списка дефектов. 3 з.п. ф-лы.
Изобретение относится к оптике
Изобретение относится к оптике
