Патенты автора РИЦЦИ Энеа (IT)

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ УСТРОЙСТВ, СОДЕРЖАЩИХ ГАЗОПОГЛОТИТЕЛЬНЫЙ МАТЕРИАЛ, И ИЗГОТОВЛЕННЫЕ ЭТИМ СПОСОБОМ УСТРОЙСТВА // 2401245

Изобретение относится к изготовлению микромеханических устройств

Наверх