FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора Шведов Евгений Васильевич (RU)
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ПРОВОДЯЩЕГО ЭЛЕМЕНТА НАНОМЕТРОВОГО РАЗМЕРА
// 2401246
Изобретение относится к области технологии микроэлектроники и наноэлектроники, а именно к технологии формирования упорядоченных наноструктур на поверхности твердого тела