Патенты автора ШВАРЦМАН Леонид (UA)
СПОСОБ ПРОИЗВОДСТВА МОНОСИЛАНА // 2403964
Изобретение относится к установке и способу непрерывного производства моносилана и тетрахлорсилана посредством каталитической дисмутации трихлорсилана при рабочей температуре и давлении от 1 до 50 бар
