Патенты автора Якубовский Андрей Юрьевич (RU)
Изобретение относится к технологии создания сложных проводящих структур и может быть использовано в нанотехнологии
Изобретение относится к технологии создания сложных проводящих структур с помощью потока ускоренных частиц и может быть использовано в нанотехнологиях, микроэлектронике для создания сверхминиатюрных приборов, интегральных схем и запоминающих устройств
