Патенты автора Овечкин Анатолий Арсеньевич (RU)
Изобретение относится к области изготовления полупроводниковых структур и может быть использовано при производстве кремниевых пластин для изготовления силовых приборов в микроэлектронике. Сущность изобретения заключается в том, что в устройство для нанесения сверхтолстых слоев поликристаллического кремния, включающее камеру 1, в которой расположен нагреватель 2, на первой поверхности 3 нагревателя 2 установлена пластина-источник кремния 4, при этом в камере 1 расположен держатель подложки 5 и она включает модуль подвода газовой смеси 18 и модуль вывода газовой смеси 19, введен первый экран 6 в виде плоского элемента, сопряженный с держателем подложки 5, в него также введен второй экран 7, выполненный в виде кольца и сопряженный первым торцом 8 с первым экраном 6, а вторым торцом 9 - с нагревателем 2 и пластиной-источником кремния 4, внутри второго экрана 7 расположен держатель подложки 5, причем камера 1 включает кварцевый реактор 13, а держатель подложки 5, первый экран 6 и второй экран 7 представляют собой загрузочную ячейку 10, сопряженную с первой поверхностью 3 нагревателя 2. Технический результат изобретения заключается в достижении управляемости формирования полупроводниковых структур и, как следствие, повышении скорости роста. 6 з.п. ф-лы, 5 ил.
ДИСТИЛЛЯТОР // 2694353
Изобретение относится к области устройств для ректификации различных жидкостей суббойлерной очистки путем испарения их при температурах ниже точки кипения с последующей конденсацией паров и может быть использовано для очистки, например, кислот, щелочей, спиртов, масел. В дистиллятор введен модуль подачи и регулировки расхода жидкости, соединенный с заливным штуцером, конденсатор выполнен в виде, по меньшей мере, одного цилиндрического модуля с осью симметрии O1-O2, герметично установленного на испарителе, и вторым сливным штуцером. Цилиндрический модуль содержит цилиндрический корпус с первым модулем охлаждения, включающим первую цилиндрическую стенку, и второй модуль охлаждения, расположенный внутри цилиндрического корпуса и представляющий собой стакан со второй цилиндрической стенкой и торцом. На цилиндрическом корпусе внутри него расположен сборник, сопряженный с первой цилиндрической стенкой, размещенный ниже торца и перекрывающий зазор между первой цилиндрической стенкой и второй цилиндрической стенкой, причем каждый сборник соединен с магистралью вторым сливным штуцером. Технический результат: повышение степени очистки жидкости. 4 з.п. ф-лы, 2 ил.
Изобретение относится к области цветной металлургии, в частности к производству высокочистого кремния, который может быть использован при изготовлении солнечных элементов
