Патенты автора Селезнев Борис Вадимович (RU)
Заявленное изобретение относится к области получения тонкопленочных материалов методом химического газофазного осаждения. Питатель содержит контейнер для раствора прекурсора, вакуумируемую камеру с зонами сушки и сублимации, средство для перемещения раствора прекурсора через вакуумируемую камеру из контейнера для раствора прекурсора в зону сушки и сублимации вакуумируемой камеры. Согласно изобретению контейнер для раствора прекурсора размещен вне вакуумируемой камеры. Средство для перемещения раствора прекурсора выполнено в виде нити из материала, способного к впитыванию раствора прекурсора. Упомянутая нить размещена одним концом намотанной на первую катушку, расположенную перед контейнером для раствора прекурсора, а вторым концом намотанной на вторую катушку, расположенную в вакуумируемой камере после нагревательных элементов камеры сублимации. Техническим результатом изобретения является равномерная подача прекурсора с низкой скоростью, возможность варьирования скорости подачи прекурсора. 7 з.п. ф-лы, 1 ил., 3 пр.
ЭЛЕКТРОДНЫЙ УЗЕЛ ЭЛЕКТРОННЫХ ПРИБОРОВ // 2551350
Изобретение относится к электродному узлу электронных приборов и предназначено для использования преимущественно в приборах вакуумной микроэлектроники. Электродный узел содержит два плоских электрода 1.2, 3.2 и разделяющий их кольцеобразный диэлектрический спейсер 2.1, на противоположные стороны которого опираются электроды. Оба электрода снабжены расположенными по их периферии выступами 1.2.3, 3.2.3 и опираются на противоположные стороны спейсера 2.1 этими выступами. При этом выступы одного электрода находятся напротив промежутков между выступами другого электрода. Технический результат - повышение электрической прочности электродного узла за счет увеличения протяженности разрядного промежутка, по которому может произойти пробой. 3 з.п. ф-лы, 6 ил.
Изобретение относится к области технологии тонких пленок и покрытий, в частности к получению тонких пленок и покрытий неорганических фторидов, которые могут быть использованы как оптические, изоляционные и буферные материалы со строго определенной кристаллографической ориентацией - ориентированные фторидные покрытия
