Патенты автора Куликова Елена Хусаиновна (RU)

Изобретение может быть использовано для измерений параметров активных областей солнечной фотосферы и хромосферы с высоким угловым разрешением в условиях ближнего и дальнего космоса. Солнечный оптический телескоп включает первичное вогнутое зеркало и полевое зеркало, установленное в его фокусе с возможностью поворота отраженного от него пучка света. Первичное вогнутое зеркало выполнено минимальной толщины из кварцевого стекла, на рабочую поверхность которого нанесено диэлектрическое покрытие, отражающее солнечное излучение в заданном спектральном диапазоне длин волн и пропускающее излучение, не используемое для анализа. Размеры наклонного полевого зеркала ограничивают область изображения в размере площади исследуемого участка солнечной поверхности. В первом варианте полевое зеркало отражает пучок света на вторичное зеркало, отражающее пучок света на расположенные последовательно поворотное зеркало и коллиматор. Во втором варианте - на линзу, пропускающую пучок света на расположенные последовательно поворотное зеркало и коллиматор. Технический результат – обеспечить высокое пространственное разрешение, эффективную защиту от термооптических эффектов и минимальный вес. 2 н.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к области прецизионных оптических средств контроля формы поверхности объектов в процессе их технологической обработки или функционирования. Восстановление абсолютного трехмерного профиля всей поверхности осуществляется по серии данных относительных измерений фаз интерферограмм. Процесс измерения фаз интерферограмм повторяют при выполнении взаимных смещений и поворотов пучков двулучевого фазосмещающего интерферометра относительно их первоначального направления. Толщину покрытия определяют путем вычисления разности абсолютных трехмерных профилей поверхностей: профиля, полученного до начала измерений (подложка без покрытия), и последующих профилей (подложка с нанесенным покрытием). Технический результат - получение абсолютного трехмерного профиля поверхности (карты высот) и толщины покрытия, наносимого на контролируемую поверхность, без использования референсной (опорной) поверхности с больших расстояний с нанометровой точностью в процессе технологической обработки. 2 н. и 2 з.п. ф-лы, 4 ил.

Устройство содержит неподвижную часть, подвижную часть с установленным на ней объектом, источник монохроматического излучения, одномодовый световод, формирующий точечный источник, совмещенный с передним фокусом оптической системы, две параллельные прозрачные пластины, установленные перпендикулярно оптической оси. Первая пластина установлена на неподвижной части и по ее периметру на стороне, обращенной ко второй пластине, под углом ~120° друг к другу расположены три участка с наклонными к плоскости пластины поверхностями с перепадом высот от центра пластины к ее краю на величину, равную, как минимум, половине длины волны монохроматического излучения. Вторая пластина закреплена на объекте и по ее периметру под углом ~120° закреплены три актюатора. За второй пластиной установлены оптически сопряженные с участками наклонной поверхности три линейных матричных фотоприемника, выходы которых подключены ко входам компьютера. Выходы компьютера подключены к приводу подвижной части и трем актюаторам. Поверхности участков наклонных поверхностей и второй пластины, обращенные друг к другу, выполнены с высоко отражающим покрытием. Технический результат - перемещение объекта с нанометровой точностью в большом диапазоне расстояний - от нескольких нм до 1 м. 5 ил.

Устройство содержит источник монохроматического излучения, выход которого совмещен с входом одномодового световода, формирующего на выходе точечный источник монохроматического излучения, совмещенный с передним фокусом оптической системы, формирующей параллельный пучок света. Две прозрачные пластины установлены перпендикулярно оптической оси и параллельно друг другу. По периметру первой пластины на стороне, обращенной ко второй пластине, под углом ~120° друг к другу расположены три участка с наклонными к плоскости первой пластины поверхностями. За второй пластиной помещены оптически сопряженные с участками наклонной поверхности три линейных матричных фотоприемника, выходы которых подключены к компьютеру. Одна из пластин жестко закреплена на объекте контроля. Участки наклонной поверхности и поверхность второй пластины, обращенные друг к другу, выполнены с высоко отражающим покрытием, участки наклонной поверхности выполнены с перепадом высот от центра первой пластины к ее краю на величину, равную, как минимум, половине длины волны монохроматического излучения. Длины участков наклонной поверхности соответствуют длине рабочих окон линейных матричных фотоприемников. Технический результат - повышение точности определения положения одного объекта относительно другого до 0,01 нм за меньшее время (до 1 мксек) в большем диапазоне расстояний между объектами. 4 ил.

Изобретение относится к области оптического приборостроения

 


Наверх