Патенты автора Шелаев Артем Викторович (RU)
Способ детектирования ближнепольного оптического отклика для сканирующего зондового микроскопа // 2695027
Изобретение относится к оптическим методам высокого пространственного разрешения на основе методов зондовой микроскопии. Сущность изобретения заключается в том, что в способе детектирования ближнепольного оптического отклика для сканирующего зондового микроскопа, включающем сближение осциллирующего на частоте Ω зондового датчика с образцом, фокусирование на острие зондового датчика оптического излучения с длиной волны λ в диапазоне от 0.4 до 500 мкм источника излучения посредством фокусирующего элемента, измерение ближнепольного оптического отклика первым синхронным детектором посредством детектирования сигнала оптического детектора на высшей гармонике осцилляций зондового датчика nΩ, где n - порядок высшей гармоники, с использованием схемы интерферометра Майкельсона, в которой модуль подвижки устанавливает зеркало опорного плеча в заданные положения, используя систему обратной связи, изменяют положение зеркала опорного плеча посредством модуля подвижки таким образом, чтобы разница фаз ближнепольного оптического отклика и излучения, отраженного от зеркала опорного плеча, поддерживалась постоянной. Технический результат заключается в снижении времени измерения, увеличении быстродействия, уменьшении шумов при измерении и снижении погрешности измерений ближнепольного отклика образца, а также в расширении функциональных возможностей устройства. 7 з.п. ф-лы, 4 ил.
Изобретение относится к точной механике и может быть использовано для сближения зонда и образца в сканирующей зондовой микроскопии. Сущность изобретения заключается в том, что в устройстве механического перемещения для сканирующего зондового микроскопа, содержащем основание 1, СЗМ головку 2, оснащенную первой опорой 3, второй опорой 4, третьей опорой 5, при этом первая опора 3 сопряжена с основанием 1 и снабжена первым приводом 6, установленным на СЗМ головке 2, а вторая опора 4 и третья опора 5 также сопряжены с основанием, вторая опора 4 снабжена вторым приводом 7, установленным на СЗМ головке 2, и третья опора 5 снабжена третьим приводом 8, установленным на СЗМ головке 2. Технический результат предложенного решения заключается в повышении точности измерений. 5 з.п. ф-лы, 2 ил.
УСТРОЙСТВО УГЛОВОГО СКАНИРОВАНИЯ // 2628673
Изобретение относится к точной механике и может быть использовано для углового перемещения отражающего элемента. Сущность изобретения заключается в том, что устройство углового сканирования содержит корпус 1, на котором закреплен пьезоэлектрический элемент 3 посредством первого конца 4 пьезоэлектрического элемента 3, на втором конце 5 пьезоэлектрического элемента 3 закреплен передаточный блок 6, на котором установлен отражающий элемент 20. Пьезоэлектрический элемент 3 выполнен в виде пьезотрубки. Передаточный блок 6 также включает переходник 8, закрепленный первым концом 9 на втором конце 5 пьезоэлектрического элемента 3, при этом на втором конце 10 переходника установлен первый мембранный элемент 11, три опоры 15, закрепленные в корпусе 1 и соединенные со вторым мембранным элементом 16, и рычаг 18, сопряженный с первым мембранным элементом 11 и вторым мембранным элементом 16, на котором установлен отражающий элемент 20. Технический результат изобретения заключается в повышении функциональных возможностей устройства и его точности. 11 з.п. ф-лы, 2 ил.
Изобретение предназначено для оптической микроскопии и спектрометрии комбинационного рассеяния, люминесценции или флуоресценции с использованием зондового датчика в качестве оптической антенны. Микроскоп содержит основание 1, измерительную головку 2, зондовый датчик 3, держатель зондового датчика 4, сканирующее основание 5 с держателем образца 6, первый объектив 7 и первую систему визуализации 9, оптически сопряженную с первым объективом 7 и образцом 10. Также в микроскоп введены первая система ввода/вывода излучения 8, расположенная со стороны измерительной головки 2 относительно основания прибора 1, конфокальный микроскоп 11, оптически сопряженный с, по меньшей мере, одним источником излучения 12 и с первой системой ввода/вывода излучения 8, спектрометр 13, содержащий, по меньшей мере, один детектор 14 и оптически сопряженный с первой системой ввода/вывода излучения 8. Зондовый датчик 3 оптически открыт для доступа источника излучения 12, оптически сопряжен посредством первого объектива 7 с первой системой ввода/вывода излучения 8 и содержит оптически активную зону 15. Технический результат – повышение универсальности конструкции, усиление флуоресценции, комбинационного рассеяния, повышение пространственного разрешения оптической спектроскопии. 22 з.п. ф-лы, 3 ил.
СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП, СОВМЕЩЕННЫЙ С УСТРОЙСТВОМ ИЗМЕРЕНИЯ МАССЫ И ДИССИПАТИВНЫХ СВОЙСТВ // 2407021
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к устройствам измерения с помощью сканирующего зондового микроскопа рельефа, линейных размеров и физических характеристик поверхности объектов в режимах сканирующего туннельного микроскопа и атомно-силового микроскопа
