Патенты автора Тихонович Т.В.

Изобретение относится к химической технологии , в чааности к способам получения органополисиланов и может быть использовано при получении компонентов кремнийкарбидной керамики, материалов для фоторезистов

Изобретение относится к двухслойным позитивным маскам, применяемым в микроэлектронике для создания приборов и интегральных схем методами субмикронных литографий, с использованием плазмохимического травления функциональных слоев, а также полиорганосиланам, обладающим фоточувствительными свойствами, для их изготовления общей формулы где R1 - этиладамантил, этил(диметиладамантил); R2 - метил, фенил; R3 - метил, фенил, циклогексил; m =2-3000 n = 2-3000; m : n = 16: (0,1-10)

 


Наверх