Патенты автора Мирошникова Татьяна Дмитриевна (RU)
Корончатый подложкодержатель // 2673253
Изобретение относится к области устройств, используемых для нанесения на изделия нанопокрытий методом магнетронного распыления. Корончатый подложкодержатель содержит корпус, подложконесущую поверхность (ПНП), выполненную секционной, с образованием подвижного соединения секций с опорой, установленной в корпусе подложкодержателя, при этом секции оснащены управляемыми автономными приводами перемещений относительно опоры, которая выполнена в виде приводной рамы, установленной с возможностью совершения цикловых перемещений относительно вертикальной оси, а ПНП выполнена с возможностью раскрытия, складывания и фиксации в любом промежуточном положении посредством управляемых автономных приводов перемещений и автономных устройств управления последовательностью перемещений. Использование изобретения позволяет расширить технологические возможности подложкодержателя и повысить качество нанесения покрытий. 5 з.п. ф-лы, 7 ил.
РОТОРНЫЙ ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЬ // 2543023
Изобретение относится к технике для нанесения на изделия нанопокрытий, в частности к роторному подложкодержателю. Роторный подложкодержатель выполнен модульным. Модуль состоит из насадки-ротора, установленной с помощью поворотной державки на опоре и соединенной с приводом поворота, и датчика контроля времени в позиции ожидания. Опора подложкодержателя концевыми частями закреплена в выдвижном корпусе. Она имеет сборную цилиндрическую конструкцию и включает направляющую втулку, втулку перемещения, шлицевой вал. Насадка-ротор имеет возможность автономной поштучной, а также групповой передачи в одну из фиксированных позиций: ожидания или обработки. Насадка-ротор смонтирована на валу, установленном в лючке державки с возможностью совершения относительно нее поворотов в рабочей позиции. Вал посредством смонтированной в его нижней части конической шестерни при поступлении насадки-ротора в рабочую позицию получает вращательное перемещение от конической шестерни головки, смонтированной на шлицевом валу с возможностью возвратно-поступательных перемещений. Подача головки в зону зацепления осуществляется посредством двух пересекающихся пазов, один из которых расположен на направляющей втулке, другой - на втулке перемещения. Технический результат заключается в обеспечении возможности доступа рабочей среды ко всем обрабатываемым поверхностям подложки за один установ. 6 ил.
Группа изобретений относится к способу нанесения покрытия магнетронным распылением и держателю подложек на его основе и может быть использовано в машиностроении, технологии нанесения на изделия нанопокрытий, рекламном и демонстрационном деле при изготовлении витрин. Размещают, фиксируют подложки и напыляют их поверхности с использованием держателя. Держатель состоит, по меньшей мере, из одного модуля, имеющего насадку-раму, выполненную с возможностью поворота в одной из горизонтальной или вертикальной плоскостей, с местами, в которых размещают и фиксируют подложки. Затем насадку-раму устанавливают подвижно в обойму и перемещают по направляющим обоймы в позицию ожидания или рабочую позицию. При передаче насадки-рамы в рабочую позицию ей сообщают поворотное перемещение в горизонтальной или вертикальной плоскости для изменения расположения подложек относительно источника плазмы. Техническим результатом является обеспечение возможности доступа рабочей среды ко всем обрабатываемым поверхностям подложки за один установ, простота конструкции, повышение производительности, гибкости, удобства обслуживания, ресурсосбережение. 2 н. и 6 з.п. ф-лы, 12 ил.
ГИБКАЯ ПРОИЗВОДСТВЕННАЯ СИСТЕМА // 2510320
Гибкая производственная система содержит систему управления, автоматизированную систему инструментального обеспечения, по меньшей мере один гибкий производственный участок, включающий технологическое оборудование (ТО), обслуживаемое транспортно-накопительной системой (ТНС), имеющей по меньшей мере одну поворотную относительно вертикальной оси обойму с поворотными в автономном режиме ячеистыми секциями, расположенными по ее периферии, и средства обмена грузами между обоймой и технологическим оборудованием. Для повышения производительности и улучшения свойств грузообмена секции образованы вертикальным размещением грузонесущих ячеек в столбцах, с зоной доступа развернутой внутрь обоймы в ее исходном положении или радиусно. Каждая из секций закреплена в корпусе поворотной державки с возможностью автономного поворота относительно оси поворота державки в горизонтальное положение и последующего выдвижения из корпуса. Ячейки снабжены средствами фиксации грузов в заданном положении. Обойма имеет возможность поворота в ряд заданных позиций по количеству секций и снабжена приводом поворота и управляемыми средствами фиксации, в качестве средств обмена секциями между корпусами обоймы и технологическим оборудованием ТНС включает приемо-передающие устройства по меньшей мере с одним каналом выдвижения секций, оснащенные приводом устройства выдвижения и возврата секций, размещенные напротив рабочих зон ТО, и промышленные роботы. 6 з.п. ф-лы, 12 ил.
ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЬ И УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ НА ЕГО ОСНОВЕ // 2437964
Изобретение относится к подложкодержателю и установке для нанесения покрытий методом магнетронного распыления
Изобретение относится к автоматизированным системам инструментального обеспечения (АСИО) машиностроительных производств и может быть применено в гибких производственных системах
