Патенты автора Зарянкин Николай Михайлович (RU)
МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЙ ДАТЧИК УДАРА // 2771967
Изобретение относится к измерительной технике. Микромеханический датчик удара представляет собой нормально разомкнутый ключ, имеющий два электрода, замыкающиеся при воздействии перегрузки, подвижный электрод, подвешенный на упругих элементах, представляющих собой изогнутую балку прямоугольного сечения, закрепленных с одной стороны в неподвижную часть основания, а с другой стороны - в инерционную массу, при этом на инерционной массе и на крышке, формирующих электроды, нанесено металлическое покрытие, места закрепления упругих элементов к инерционная массе расширены втрое по площади, инерционная масса имеет смещенный центр тяжести, что позволяет фиксировать перегрузки при боковых ударах вдоль оси X и/или Y и ударах под углом к оси чувствительности Z, герметичность внутреннего рабочего объема датчика достигается сращиванием крышки с основанием по месту крепления крышки. Технический результат – повышение ударопрочности, уменьшение электрического сопротивления в замкнутом виде, возможность многоразового использования датчика, обеспечение герметичности для динамических характеристик датчика. 1 ил.
Данное изобретение относится к способам изготовления чувствительных элементов МЭМС-датчиков, в частности к способам изготовления, сочетающим объемное травление КНИ-структуры с микромеханической обработкой. Способ изготовления чувствительных элементов МЭМС-датчиков на КНИ-структуре включает нанесение защитных покрытий на лицевую сторону пластины, фотолитографию по защитному слою с лицевой стороны, глубокое высокопрецизионное травление кремния с лицевой стороны до изолирующего слоя диэлектрика с заданным профилем и шероховатостью, удаление остатков маскирующего покрытия с лицевой стороны, при этом перед травлением изолирующего слоя диэлектрика производится операция скрайбирования до изолирующего слоя диэлектрика с обратной стороны КНИ-структуры. Изобретение позволяет сократить и упростить технологический процесс изготовления чувствительных элементов МЭМС-датчиков на КНИ-структуре за счет уменьшения количества технологических операций. 4 ил.
ТВЕРДОТЕЛЬНЫЙ ДАТЧИК ЛИНЕЙНЫХ УСКОРЕНИЙ // 2692122
Изобретение относится к измерительной технике и может применяться в микромеханических датчиках линейных ускорений. Устройство содержит основание, инерционную массу, упругие элементы. Сформированы две группы раздельных электрически неподвижных емкостных гребенчатых преобразователей. Гребенки подвижных емкостных гребенчатых преобразователей и неподвижных емкостных гребенчатых преобразователей сформированы со смещением относительно друг друга. Упругие элементы соединены одной стороной с инерционной массой, другой стороной соединены с площадками крепления к основанию. Площадки крепления к основанию расположены симметрично в центре симметрии инерционной массы вдоль продольной ее оси и симметрично относительно поперечной ее оси. Технический результат заключается в увеличении точности измерения линейных ускорений. 2 ил.
Изобретение относится к технологии изготовления чувствительных элементов микроэлектромеханических систем
Изобретение относится к микроэлектронике, в частности к реакторам для высокоплотной и высокочастотной плазменной обработки полупроводниковых структур
