Патенты автора Петров Станислав Иванович (RU)
ПОДВЕСКА-ТОКОПОДВОД ДЛЯ СТЕРЖНЕВЫХ ПОДЛОЖЕК // 2409709
Изобретение относится к получению полупроводниковых материалов, преимущественно поликристаллического кремния, путем осаждения из газовой фазы на подогреваемые подложки и может быть использовано в реакторах с резистивным подогревом стержневых подложек и с верхним токоподводом
