Патенты автора Лысенко Елена Николаевна (RU)
СПОСОБ ПОСЛОЙНОГО АНАЛИЗА ТОНКИХ ПЛЕНОК // 2656129
Изобретение относится к исследованию материалов путем определения их физических свойств, а именно к определению элементного состава методом вторично-ионной масс-спектрометрии и может быть использовано для определения распределения материала тонкой пленки по глубине при изготовлении многослойных тонкопленочных структур и полупроводниковых приборов. Способ послойного анализа тонких пленок включает нанесение при одинаковых условиях тонкой пленки на две идентичные подложки, диффузионный отжиг одного из полученных образцов, размещение образцов в масс-спектрометре, образец, подвергнутый диффузионному отжигу, и образец, не подвергнутый диффузионному отжигу, последовательно нагревают в объеме масс-спектрометра до температуры 200-250°С, поддерживая которую воздействуют в течение не менее 1 часа пучком электронов с плотностью тока 1-10 мкА/см2 на поверхность образца со стороны нанесенной пленки. Затем образцы охлаждают до комнатной температуры, снимают временные спектры вторичных ионов. Полученные для каждого образца распределения токов вторичных ионов материала тонкой пленки по глубине травления нормируют относительно соответствующих значений токов вторичных ионов от материала пленки в начальный момент снятия временного спектра. Определяют глубинное распределение материала пленки, сформированное во время диффузионного отжига в приповерхностном слое подложки путем вычитания из нормированного распределения, определенного для образца, подвергнутого диффузионному отжигу, нормированного распределения, определенного для образца, не подвергнутого диффузионному отжигу, используя которое определяют коэффициент диффузии материала тонкой пленки. Технический результат - повышение точности определения распределения материала тонкой пленки по глубине подложки. 1 ил., 1 табл.
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к испытаниям магнитных материалов, и может быть использовано для определения содержания феррита в материале, измерения температурных зависимостей степени ферритизации и определения по ним температур магнитных фазовых переходов. Устройство для определения содержания феррита в материале содержит корпус с углублением в верхней части, при этом двойные стенки корпуса снабжены каналами для прохода и патрубками для ввода и вывода охлаждающей жидкости. Патрубки через шланги соединены с термостатом. Внутри корпуса на противоположных стенках углубления закреплены два постоянных магнита, первые два противоположных полюса которых ориентированы навстречу друг другу, так что магнитные силовые линии, соединяющие их полюса, пересекают пространство внутри углубления. Другие два противоположных полюса магнитов соединены С-образным магнитопроводом, на который намотана катушка индуктивности. Выводы катушки индуктивности соединены с первым разъемом в корпусе, к которому подключен первый регистратор ЭДС индукции. В углублении корпуса установлена тепловая камера. С наружной стороны корпуса внутри углубления установлена тепловая камера, соединенная с источником тока. Внутри корпуса расположен электродвигатель, на оси которого закреплен шток. Шток вставлен в тепловую камеру через боковые отверстия в стенке углубления корпуса и тепловой камеры. Шток предназначен для размещения испытуемого материала в объеме тепловой камеры и вращения испытуемого материала с постоянной угловой скоростью в вертикальной плоскости относительно магнитных силовых линий постоянных магнитов, соединяющих их полюса. Измерительный спай термопары вставлен в объем тепловой камеры через второе боковое отверстие в ней так, что свободные концы термопары размещены внутри корпуса и соединены через второй электрический разъем в корпусе со вторым регистратором ЭДС. Техническим результатом является повышение точности определения температурных зависимостей степени ферритизации магнитных материалов. 1 з.п. ф-лы, 3 ил.
Изобретение относится к измерительной технике, представляет собой устройство для определения содержания феррита в материале и может быть использовано для определения содержания феррита, измерения температурных зависимостей степени ферритизации и определения по ним температур магнитных фазовых переходов магнитных материалов. Устройство содержит два постоянных магнита, первые два противоположных полюса которых ориентированы навстречу друг другу и разделены воздушным промежутком, а другие два противоположных полюса соединены С-образным магнитопроводом, на который намотана катушка индуктивности, подключенная к первому регистратору ЭДС индукции. В воздушном промежутке между полюсами магнитов установлена тепловая камера, соединенная с источником тока. Через боковое отверстие в корпусе камеры вставлен шток для размещения испытуемого материала, закрепленный на оси электродвигателя для вращения испытуемого материала с постоянной угловой скоростью в вертикальной плоскости относительно магнитных силовых линий постоянных магнитов, соединяющих их полюса. Также внутри тепловой камеры находится измерительный спай термопары, подключенной ко второму регистратору ЭДС. Техническим результатом является расширение функциональных возможностей. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.
Изобретение относится к порошковой металлургии, в частности к получению материала на основе оксидного гексагонального ферримагнетика с W-структурой. Может использоваться в радиотехнике и радиоэлектронике, например, в качестве радиопоглощающих покрытий. Компоненты сушат, смешивают путем механической активации в энергонапряженном аппарате, брикетируют и термообрабатывают в режиме горения. После чего проводят ферритизацию путем нагрева электронным пучком до температуры 1200-1300°C и последующей выдержки под облучением 5-10 мин. Обеспечивается повышение степени гомогенизации конечного продукта, улучшение его структуры и уменьшение разброса электромагнитных параметров при сокращении продолжительности технологического цикла его получения. 2 н.п. ф-лы, 1 ил., 1 табл.
СПОСОБ СИНТЕЗА ФЕРРИТОВ // 2507031
Изобретение относится к порошковой металлургии, в частности к получению ферритов. Может использоваться в электронной и радио промышленностях. Исходные компоненты смешивают, подвергают помолу и проводят механическую активацию смеси в энергонапряженном аппарате в течение не менее 10 минут. Полученную смесь брикетируют, нагревают с помощью облучения проникающим электронным пучком до температуры синтеза, выдерживают при данной температуре под облучением и охлаждают. Во время выдержки под облучением осуществляют воздействие ультразвуком частотой от 15 до 25 кГц. Обеспечивается повышение степени монофазности ферритов. 1 з.п. ф-лы, 1 ил., 2 табл.
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФЕРРИТОВЫХ ИЗДЕЛИЙ // 2410200
Изобретение относится к порошковой металлургии, в частности к технологии получения ферритов
