FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора Литвин Дмитрий Павлович (RU)
СПОСОБ ВЫРАЩИВАНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ КАРБИДА КРЕМНИЯ
// 2411195
Изобретение относится к технологии выращивания монокристаллов конденсацией испаряемого или сублимируемого материала и может быть использовано в полупроводниковой промышленности