Патенты автора Светлов Сергей Петрович (RU)
УСТАНОВКА ВАКУУМНОГО НАПЫЛЕНИЯ // 2473147
Изобретение относится к технике получения пленок молекулярно-лучевым осаждением и использованием резистивных источников напыляемого материала
Изобретение относится к микроэлектронике
СУБЛИМАЦИОННЫЙ ИСТОЧНИК НАПЫЛЯЕМОГО МАТЕРИАЛА ДЛЯ УСТАНОВКИ МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВОЙ ЭПИТАКСИИ // 2449411
Изобретение относится к технологическому оборудованию для нанесения полупроводниковых материалов на подложку эпитаксиальным наращиванием и может быть использовано при изготовлении различных полупроводниковых приборов микро- и оптоэлектроники
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ВАКУУМНОГО НАПЫЛЕНИЯ ПЛЕНОК // 2411304
Изобретение относится к технике получения пленок в вакууме, в частности к устройству для вакуумного напыления пленок, и может быть использовано для эпитаксиального выращивания слоев при изготовлении полупроводниковых приборов, устройств интегральной оптики, при нанесении функциональных покрытий из металлов и кремния и т.п
