Патенты автора Панин Юрий Николаевич (RU)

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОПРЕДЕЛЕНИЯ СОДЕРЖАНИЯ ЭЛЕМЕНТОВ В ПРИПОВЕРХНОСТНОМ СЛОЕ ОБРАЗЦА // 2411507

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к устройствам для элементного (и изотопного) анализа поверхности вещества, тонких пленок, наноструктур