FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора КУНИБЕ Тосидзу (JP)
ИСТОЧНИК ИОНОВ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЛАЗМЕННОЙ ОБРАБОТКИ
// 2414766
Изобретение относится к области плазменной обработки при изготовлении полупроводников