Патенты автора Пономаренко Валерий Олегович (RU)

Изобретение относится к способам изготовления наноразмерных структур на твердом теле для полупроводниковых приборов. Предлагается способ изготовления химически и термически стабильной металлической поглощающей структуры вольфрама на силикатной подложке, включающий создание наноразмерной структуры слоев, содержащей, по меньшей мере, подслой адгезионного промотера, тонкую пленку вольфрама, а также соприлегающий с ней по крайней мере с одной стороны барьерный слой, состоящий из субстехиометрического нитрида алюминия. При этом создание слоевой структуры осуществляется методом газофазного осаждения соответствующих материалов на силикатную подложку при пониженном давлении, а материалы индивидуальных слоев, их толщины и порядок следования, а также режимы процесса их осаждения спроектированы таким образом, чтобы конечная структура обладала полным перечнем требуемых качеств химической и термической стабильности наряду с повышенными качествами поглощения по отношению к длинам волн видимой части спектра электромагнитного излучения. Изобретение обеспечивает препятствование протеканию блистерообразования в металлической структуре вольфрама, повышение эксплуатационной температуры, а также повышение поглощения по отношению к длинам волн видимой части спектра электромагнитного излучения. 2 з.п. ф-лы, 13 табл., 8 ил.

Изобретение относится к энергосберегающим покрытиям, в частности к энергосберегающим покрытиям на стекле, обладающим качествами термоустойчивости и высокой селективности, и способу их получения. Техническим результатом является обеспечение сочетания качеств термоустойчивости, высокой селективности и выраженного зеленого цвета энергосберегающего покрытия на стеклянных подложках, выражающихся в совокупном сочетании набора свойств: устойчивости по отношению к продолжительным воздействиям высоких температур, выражающейся в сохранении минимального значения уровня мутности стеклянной подложки по итогам воздействия, солнцезащитных свойств по отношению к избыточному тепловому солнечному воздействию при одновременном поддержании удовлетворительного уровня пропускания видимого света, качеств энергоэффективности с точки зрения снижения излучательных теплопотерь в холодное время, и зеленого цвета отражения поверхности стеклянной подложки со стороны, противоположной стороне, на которую нанесено тонкопленочное энергоэффективное оптическое покрытие, достигаемого в широком диапазоне углов наблюдения. Термоустойчивое высокоселективное энергосберегающее покрытие зеленого цвета на стекле, состоящее из отдельных непосредственно контактирующих между собой слоев. Покрытие включает в себя следующие соприлегающие слои в порядке перечисления от стеклянной подложки наружу: первый слой, прилегающий к поверхности стеклянной подложки, содержит субстехиометрический нитрид легированного алюминием кремния Si-Al-N, последующий слой, являющийся первым контактным слоем, который содержит оксид легированного оловом цинка Zn-Sn-O, за ним следует слой, содержащий оксид легированного алюминием цинка Zn-Al-O, являющийся первым каталитическим слоем, последующий слой, который содержит серебро Ag, является первым слоем, отражающим инфракрасное излучение, за ним следует слой, содержащий субстехиометрический оксид нихрома Ni-Cr-O, который является первым барьерным слоем, следующий слой, который содержит оксид легированного алюминием цинка Zn-Al-O, является первым укрывным слоем, за ним следует промежуточный слой, содержащий субстехиометрический нитрид алюминия Al-N, последующий слой является вторым контактным слоем и содержит оксид легированного оловом цинка Zn-Sn-O, за ним следует слой, содержащий оксид легированного алюминием цинка Zn-Al-O, являющийся вторым каталитическим слоем, последующий слой, который содержит серебро Ag, является вторым слоем, отражающим инфракрасное излучение, за ним следует слой, содержащий субстехиометрический оксид нихрома Ni-Cr-O, который является вторым барьерным слоем, следующий слой, который содержит субстехиометрический нитрид вольфрама W-N, является поглощающим слоем, за ним следует слой, содержащий субстехиометрический нитрид алюминия Al-N, являющийся вторым укрывным слоем, а также защитным слоем для обеспечения хемомеханической защиты всей ранее перечисленной структуры слоев, последующий слой, являющийся внешним слоем всей перечисленной структуры слоев покрытия и выполняет роль препятствующего распространению трещин «ПРТ»-слоя, содержит оксид легированного цинком олова Zn-Sn-O. 2 н. и 2 з.п. ф-лы, 6 ил., 4 табл.

Изобретение относится к энергосберегающим покрытиям, в частности к энергосберегающим покрытиям на стекле, обладающим качествами термоустойчивости и высокой селективности, и способу их получения. Технической результат настоящего изобретения направлен на обеспечение сочетания качеств термоустойчивости, высокой селективности и выраженного серебристого цвета энергосберегающего покрытия на стеклянных подложках, выражающихся в совокупном сочетании набора свойств: устойчивости по отношению к продолжительным воздействиям высоких температур, солнцезащитных свойств по отношению к тепловому солнечному воздействию при одновременном поддержании удовлетворительного уровня пропускания видимого света, качеств энергоэффективности по снижению излучательных теплопотерь в холодное время и серебристого цвета отражения со стороны стеклянной подложки, противоположной стороне, на которую нанесено покрытие, достигаемого в широком диапазоне углов наблюдения. Предложено термоустойчивое высокоселективное энергосберегающее покрытие серебристого цвета на стекле, состоящее из отдельных непосредственно контактирующих между собой слоев. Покрытие включает в себя следующие соприлегающие слои в порядке перечисления от стеклянной подложки наружу: первый слой, содержит субстехиометрический нитрид легированного алюминием кремния Si-Al-N, последующий слой содержит оксид легированного оловом цинка Zn-Sn-O, за ним следует слой, содержащий оксид легированного алюминием цинка Zn-Al-O, последующий слой содержит серебро Ag, за ним следует слой, содержащий субстехиометрический оксид нихрома Ni-Cr-O, следующий слой содержит оксид легированного алюминием цинка Zn-Al-O, за ним следует промежуточный слой, содержащий субстехиометрический нитрид алюминия Al-N, последующий слой содержит оксид легированного оловом цинка Zn-Sn-O, за ним следует слой, содержащий оксид легированного алюминием цинка Zn-Al-O, последующий слой содержит серебро Ag, за ним следует слой, содержащий субстехиометрический оксид нихрома Ni-Cr-O, следующий слой содержит субстехиометрический нитрид вольфрама W-N, за ним следует слой, содержащий субстехиометрический нитрид алюминия Al-N, последующий слой, содержит оксид легированного цинком олова Zn-Sn-O. 2 н. и 2 з.п. ф-лы, 6 ил.

Изобретение относится к энергосберегающим покрытиям, в частности к энергосберегающим покрытиям на стекле, обладающим качествами термоустойчивости и высокой селективности, и способу их получения. Технический результат заключается в обеспечении устойчивости по отношению к продолжительным воздействиям высоких температур, выражающейся в сохранении минимального значения уровня мутности стеклянной подложки по итогам воздействия, солнцезащитных свойств по отношению к избыточному тепловому солнечному воздействию при одновременном поддержании удовлетворительного уровня пропускания видимого света, качеств энергоэффективности с точки зрения снижения излучательных теплопотерь в холодное время и бронзового цвета отражения поверхности стеклянной подложки со стороны, противоположной стороне, на которую нанесено тонкопленочное энергоэффективное оптическое покрытие, достигаемого в широком диапазоне углов наблюдения. В частности, предложено термоустойчивое высокоселективное энергосберегающее покрытие бронзового цвета на стекле, состоящее из отдельных непосредственно контактирующих между собой слоев. Указанное покрытие включает в себя следующие соприлегающие слои в порядке перечисления от стеклянной подложки наружу: первый слой, содержащий субстехиометрический нитрид легированного алюминием кремния Si-Al-N, последующий слой, являющийся первым контактным слоем, который содержит оксид легированного оловом цинка Zn-Sn-O, за ним следует слой, содержащий оксид легированного алюминием цинка Zn-Al-O, являющийся первым каталитическим слоем, последующий слой, который содержит серебро Ag, является первым слоем, отражающим инфракрасное излучение, за ним следует слой, содержащий субстехиометрический оксид нихрома Ni-Cr-O, который является первым барьерным слоем, следующий слой, который содержит оксид легированного алюминием цинка Zn-Al-O, является первым укрывным слоем, за ним следует промежуточный слой, содержащий субстехиометрический нитрид алюминия Al-N, последующий слой является вторым контактным слоем и содержит оксид легированного оловом цинка Zn-Sn-O, за ним следует слой, содержащий оксид легированного алюминием цинка Zn-Al-O, являющийся вторым каталитическим слоем, последующий слой, который содержит серебро Ag, является вторым слоем, отражающим инфракрасное излучение, за ним следует слой, содержащий субстехиометрический оксид нихрома Ni-Cr-O, который является вторым барьерным слоем, следующий слой, который содержит субстехиометрический нитрид вольфрама W-N, является поглощающим слоем, за ним следует слой, содержащий субстехиометрический нитрид алюминия Al-N, являющийся вторым укрывным слоем, а также защитным слоем для обеспечения хемомеханической защиты всей ранее перечисленной структуры слоев, последующий слой, являющийся внешним слоем всей перечисленной структуры слоев покрытия и выполняющий роль препятствующего распространению трещин «ПРТ»-слоя, содержит оксид легированного цинком олова Zn-Sn-O. 2 н. и 2 з.п. ф-лы, 6 ил.

Изобретение относится к энергосберегающим покрытиям. Покрытие содержит: первый слой, прилегающий к поверхности стеклянной подложки и содержащий субстехиометрический нитрид легированного алюминием кремния Si-Al-N; первый контактный слой, содержащий оксид легированного оловом цинка Zn-Sn-O; первый каталитический слой, содержащий оксид легированного алюминием цинка Zn-Al-O; первый слой серебра Ag, отражающий инфракрасное излучение; первый барьерный слой, содержащий субстехиометрический оксид нихрома Ni-Cr-O; первый укрывной слой, содержащий оксид легированного алюминием цинка Zn-Al-O; промежуточный слой, содержащий субстехиометрический нитрид алюминия Al-N; второй контактный слой, содержащий оксид легированного оловом цинка Zn-Sn-O; второй каталитический слой, содержащий оксид легированного алюминием цинка Zn-Al-O; второй слой серебра Ag; второй барьерный слой, содержащий субстехиометрический оксид нихрома Ni-Cr-O; поглощающий слой, содержащий субстехиометрический нитрид вольфрама W-N; второй укрывной слой, содержащий субстехиометрический нитрид алюминия Al-N; защитный слой, выполняющий роль препятствующего распространению трещин и содержащий оксид легированного цинком олова Zn-Sn-O. Технической результат – обеспечение устойчивости по отношению к продолжительным воздействиям высоких температур, выражающейся в сохранении минимального значения уровня мутности стеклянной подложки по итогам воздействия, солнцезащитных свойств по отношению к избыточному тепловому солнечному воздействию при одновременном поддержании удовлетворительного уровня пропускания видимого света, качеств энергоэффективности с точки зрения снижения излучательных теплопотерь в холодное время, и синего цвета отражения поверхности стеклянной подложки со стороны, противоположной стороне, на которую нанесено тонкопленочное энергоэффективное оптическое покрытие, достигаемого в широком диапазоне углов наблюдения. 2 н. и 2 з.п. ф-лы, 6 ил.

Изобретение относится к энергосберегающим покрытиям на стеклянных подложках. Многослойное покрытие на стекле содержит следующие слои в порядке удаления от стекла: слой диоксида титана TiO2, контактный слой оксида цинка, легированного алюминием, Zn-Al-O, первый слой, отражающий инфракрасное излучение и содержащий серебро Ag, первый укрывной слой оксида цинка, легированного алюминием, Zn-Al-O, промежуточный слой оксида цинка, легированного оловом, Zn-Sn-O, второй слой, отражающий инфракрасное излучение и содержащий серебро Ag, второй укрывной слой оксида цинка, легированного алюминием, Zn-Al-O, внешний слой оксида цинка, легированного оловом, Zn-Sn-O. Толщина промежуточного слоя Zn-Sn-O составляет от 82 нм до 90 нм, толщина диоксида титана TiO2 – от 12 нм до 18 нм. Отношение толщины слоя TiO2 к толщине внешнего защитного слоя Zn-Sn-O находится в пределе от 0,3 до 0,5. Совокупная толщина двух отражающих инфракрасное излучение слоев, содержащих серебро Ag, такова, что результирующее поверхностное омическое сопротивление изделия с гибридным энергосберегающим покрытием не превышает 3 Ом/квадрат. Отношение толщины первого слоя, отражающего инфракрасное излучение, к толщине второго слоя, отражающего инфракрасное излучение, составляет от 0,3 до 0,7. Отношение толщины первого укрывного слоя к толщине первого контактного слоя и отношение толщины второго укрывного слоя к толщине второго контактного слоя равны и находятся в пределе от 0,45 до 1,15. Технической результат направлен на повышение уровня поглощения электромагнитного излучения видимого диапазона длин волн наряду с гибридными качествами энергосберегающего покрытия на стеклянных подложках, выражающихся в совокупном сочетании следующих свойств: солнцезащитных свойств по отношению к избыточному тепловому солнечному воздействию, качеств энергоэффективности с точки зрения снижения излучательных теплопотерь в холодное время, сниженного уровня прямого пропускания ультрафиолетового излучения ближней длинноволновой УФ-части спектра солнечного излучения и нейтрально-серого цвета отражения поверхности стеклянной подложки со стороны, противоположной стороне, на которую нанесено тонкопленочное энергоэффективное оптическое покрытие. 1 з.п. ф-лы, 3 ил., 2 табл.

Изобретение относится к изделиям бронзового цвета с гибридным энергосберегающим покрытием. Многослойное покрытие содержит слои в следующем порядке от поверхности стеклянной подложки: первый слой диоксида титана TiO2; первый контактный слой Zn-Al-O; первый слой серебра Ag, отражающий инфракрасное излучение; первый укрывной слой Zn-Al-O; промежуточный слой Zn-Sn-O; второй контактный слой Zn-Al-O; второй слой серебра Ag, отражающий инфракрасное излучение; слой Zn-Al-O, являющийся вторым укрывным слоем; внешний слой Zn-Sn-O для защиты всей ранее перечисленной структуры слоев. Толщина промежуточного слоя Zn-Sn-O составляет от 50 до 75 нм, толщина слоя TiO2 составляет от 25 до 37 нм. Отношение толщины слоя TiO2 к толщине внешнего защитного слоя Zn-Sn-O находится в пределе от 0,6 до 1,3. Совокупная толщина двух отражающих инфракрасное излучение слоев, содержащих серебро Ag, такова, что результирующее поверхностное омическое сопротивление изделия с гибридным энергосберегающим покрытием не превышает 4 . Отношение толщины первого слоя серебра Ag к толщине второго слоя серебра Ag составляет от 1,1 до 1,4. Отношение толщины первого укрывного слоя Zn-Al-O к толщине первого контактного слоя Zn-Al-O и отношение толщины второго укрывного слоя Zn-Al-O к толщине второго контактного слоя Zn-Al-O равны и составляют не более 0,585. Технический результат – снижение коэффициента прямого пропускания солнечного излучения, снижение излучательных теплопотерь в холодное время, повышение светопрозрачности, снижение пропускания ультрафиолетового излучения ближней длинноволновой УФ-части спектра. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к энергосберегающим покрытиям. Многослойное покрытие на стекле содержит следующие слои в порядке удаления от стекла: первый слой диоксида титана TiO2, первый контактный слой Zn-Al-O, первый слой серебра Ag, отражающий ИК-излучение, первый укрывной слой Zn-Al-O, промежуточный слой Zn-Sn-O, второй контактный слой Zn-Al-O, второй слой серебра Ag, второй укрывной слой Zn-Al-O, внешний защитный слой Zn-Sn-O. Толщина промежуточного слоя составляет от 75 нм до 82 нм, а толщина слоя TiO2 составляет от 8 нм до 14 нм. Отношение толщины слоя TiO2 к толщине внешнего защитного слоя находится в пределе от 0,12 до 0,25. Совокупная толщина двух слоев серебра Ag такова, что результирующее поверхностное омическое сопротивление изделия с гибридным энергосберегающим покрытием не превышает 4 Ом/кв. Отношение толщины первого слоя серебра Ag к толщине второго слоя серебра Ag, составляет от 0,5 до 0,8. Отношение толщины первого укрывного слоя к толщине первого контактного слоя и отношение толщины второго укрывного слоя к толщине второго контактного слоя составляют не более 0,42. Технический результат – снижение теплопотерь в холодное время, повышение светопрозрачности, снижение уровня пропускания ультрафиолетового излучения. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к энергосберегающим покрытиям. Технический результат – снижение излучательных теплопотерь в холодное время, повышение светопрозрачности, снижение уровня прямого пропускания ультрафиолетового излучения. Изделие имеет серебристый цвет. Покрытие содержит первый слой диоксида титана TiO2, прилегающий к поверхности стеклянной подложки, первый контактный слой Zn-Al-O, первый слой серебра Ag, отражающий инфракрасное излучение, первый укрывной слой Zn-Al-O, промежуточный слой Zn-Sn-O, второй контактный слой Zn-Al-O, второй слой серебра Ag, второй укрывной слой Zn-Al-O, внешний защитный слой Zn-Sn-O. Толщина промежуточного слоя Zn-Sn-O составляет от 85 нм до 98 нм, а толщина слоя TiO2 составляет от 20 нм до 24 нм. Отношение толщины слоя TiO2 к толщине внешнего защитного слоя находится в пределе от 0,56 до 0,75. Совокупная толщина двух отражающих инфракрасное излучение слоев серебра такова, что результирующее поверхностное омическое сопротивление изделия с гибридным энергосберегающим покрытием не превышает 4 Ом/кв. Отношение толщины первого слоя серебра к толщине второго слоя серебра составляет от 0,17 до 0,28. Отношение толщины первого укрывного слоя к толщине первого контактного слоя и отношение толщины второго укрывного слоя к толщине второго контактного слоя равны и составляют не более 0,672. 1 з.п. ф-лы, 2 табл., 2 ил.

Изобретение относится к энергосберегающим покрытиям. Покрытие содержит следующие слои в порядке удаления от поверхности стеклянной подложки: слой диоксида титана TiO2, контактный слой оксида цинка, легированного алюминием Zn-Al-O, слой серебра Ag, укрывной слой оксида цинка, легированного алюминием Zn-Al-O, промежуточный слой оксида олова, легированного цинком Zn-Sn-O, второй контактный слой оксида цинка, легированного алюминием Zn-Al-O, слой серебра Ag, второй укрывной слой оксида цинка, легированного алюминием Zn-Al-O, внешний слой оксида олова, легированного цинком Zn-Sn-O. Толщина промежуточного слоя составляет от 45 до 60 нм, толщина слоя диоксида титана TiO2 – от 14 до 20 нм. Соотношение толщины слоя диоксида титана TiO2 к толщине внешнего защитного слоя составляет от 0,4 до 0,6, толщины первого слоя серебра Ag к толщине второго слоя серебра Ag составляет от 0,8 до 1,1. Отношение толщины первого укрывного слоя к толщине первого контактного слоя и отношение толщины второго укрывного слоя к толщине второго контактного слоя равны и составляют не более 0,375. Технической результат – снижение излучательных теплопотерь в холодное время, повышение светопрозрачности по отношению к длинам волн видимой части солнечного электромагнитного спектра, снижение уровня прямого пропускания ультрафиолетового излучения ближней длинноволновой УФ-части спектра. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

Изобретение относится к способам защитной обработки тонкопленочных электропроводящих оптических покрытий. Технический результат – повышение защитных свойств тонкопленочных электропроводящих оптических покрытий на стекле. Тонкопленочный слой наносят методом физического осаждения из плазмы магнетронного разряда смешанной атмосферы рабочих газов непосредственно на поверхность стороны стекла с покрытием. В качестве материала слоя используют барьерный для диффузии кислорода оксинитрид легированного металла, содержащий комбинацию из, по меньшей мере, двух элементов, выбранный из группы, состоящей из Ti, Si, Zn, Sn, In, Zr, Al, Cr, Nb, Mo, Hf, Ta и W. Смешанная атмосфера рабочих газов включает распылительную составляющую – аргон, реакционную составляющую – кислород и стабилизирующую составляющую – азот. Давление смеси рабочих газов поддерживается в пределах от 2,2·10-3 мбар до 2,8·10-2 мбар, удельная скорость осаждения материала защитного слоя поддерживается в пределах от 2,4·10-7 до 4,6·10-6 нм/(Вт·с), а парциальная концентрация стабилизирующей составляющей атмосферы рабочих газов поддерживается в пределах от 20% до 40%. 2 з.п. ф-лы, 8 ил., 1 табл.

Изобретение относится к области рентгенофлуоресцентного анализа (РФА) микроколичеств вещества с использованием полного внешнего отражения (ПВО) и предназначено для элементного анализа сверхчистых поверхностей, сухих остатков растворов, а также мелкодисперсных порошков, нанесенных на подложку и может быть использовано для оснащения заводских, научных, стационарных и передвижных лабораторий различного назначения

 


Наверх