Патенты автора ХИРАМОТО Ацуси (JP)
Изобретение относится к способу изготовления кремниевой подложки головки для выброса жидкости, которая снабжена элементом генерации энергии для выброса жидкости и отверстием, проходящим через кремниевую подложку, для подачи жидкости к элементу генерации
