Патенты автора Горбачев Алексей Михайлович (RU)

ПЛАЗМЕННЫЙ РЕАКТОР ДЛЯ ВЫСОКОСКОРОСТНОГО ОСАЖДЕНИЯ АЛМАЗНЫХ ПЛЕНОК ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ // 2416677

Изобретение относится к плазменному реактору и может найти применение для высокоскоростного осаждения алмазных пленок из газовой фазы в плазме СВЧ разряда