Патенты автора Денисов Григорий Геннадьевич (RU)
Изобретение относится к области создания непрерывных пучков ионов путем их экстракции из плотной плазмы, создаваемой в открытой магнитной ловушке мощным излучением миллиметрового диапазона длин волн. Технический результат - повышение тока пучков ионов при сохранении заданного среднего заряда ионов. Устройство содержит генератор непрерывного СВЧ излучения с частотой много больше обычно используемых частот, например 28 ГГц. Излучение от генератора последовательно проходит преобразователь моды СВЧ излучения в гауссов пучок, квазиоптическую линию передачи и преобразователь гауссова пучка в моду круглого волновода, которая попадает в разрядную вакуумную камеру. Использование квазиоптической линии передач позволяет электрически изолировать мощный гиротрон от разрядной вакуумной камеры, находящейся под высоким потенциалом (до 100 кВ). 1 ил.
Изобретение относится к плазменному реактору и может найти применение для высокоскоростного осаждения алмазных пленок из газовой фазы в плазме СВЧ разряда
