Патенты автора ТАМАГАКИ Хироси (JP)
УСТРОЙСТВО НЕПРЕРЫВНОГО ФОРМИРОВАНИЯ ПЛЕНКИ // 2417275
Изобретение относится к устройству для плазменного химического парофазного осаждения пленки на поверхности полосообразной подложки и может найти применение при изготовлении дисплеев
