FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора ДЖОНСТОН Норман В. (US)
ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ ПРИ АТМОСФЕРНОМ ДАВЛЕНИИ
// 2421418
Изобретение относится к способу получения покрытий полупроводниковых материалов методом химического осаждения из паровой фазы