FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора ИСО Йосики (JP)
ВАКУУМНОЕ ОБРАБАТЫВАЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО
// 2421543
Изобретение относится к устройству для вакуумного парового осаждения слоя на подложку путем облучения материала напыления