Патенты автора Зелинский Александр Георгиевич (RU)
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ LIGA-ШАБЛОНА // 2431881
Изобретение относится к LIGA-технологии, а точнее к способу изготовления LIGA-шаблона (ЛИГА-шаблона), используемого для проведения первой стадии LIGA-технологии - глубокой рентгеновской литографии
Изобретение относится к конструкции и способу изготовления используемых для фильтрации электромагнитного излучения перфорированных (со сквозными отверстиями) металлических сеточных структур (МСС)
