Патенты автора Чибисов Александр Константинович (RU)
Изобретение относится к области нанотехнологии, а именно к разработке защитных тонкопленочных материалов с заданными свойствами для микро- и наноустройств: ОСИД, микро- и наносенсоров, чипов, фотонных кристаллов и т.д
