FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора Ковалев Александр Анатольевич (RU)
СПОСОБ ОПТИЧЕСКИХ ИЗМЕРЕНИЙ ДЛЯ МАТЕРИАЛА
// 2423684
Изобретение относится к модуляционным способам спектральных измерений, в частности оптических постоянных, и предназначено для определения параметров поверхности и слоев тонких пленок, например, полупроводниковых гетероструктур