Патенты автора ЛЕНДИ Даниэль (CH)
Изобретение относится к компоновочной схеме ионно-плазменного распыления, вакуумной установке для нанесения покрытий и способу для осуществления способов нанесения покрытий магнетронным распылением импульсами большой мощности. Компоновочная схема ионно-плазменного распыления содержит распыляемые или частично распыляемые катоды и генераторы Gj мощности ионно-плазменного распыления, переключатели Sbj на мостовой схеме для коммутации отбора мощности Pj соответствующего генератора Gj мощности ионно-плазменного распыления и импульсные переключатели Spi для распределения соответствующих отборов мощности Pj на соответствующие распыляемые катоды Ti. Компоновочная схема ионно-плазменного распыления выполнена с возможностью ее эксплуатации по меньшей мере в двух различных вариантах коммутации. Технический результат - обеспечение возможности варьировать плотность мощности ионно-плазменного распыления, не приводя к потере производительности. 3 н. и 14 з.п. ф-лы, 7 ил.
Изобретение относится к распределителю мощности, который в состоянии последовательно и без перерыва отдачи мощности генератором постоянного тока DC распределить большую мощность генератора постоянного тока DC на более чем две мишени. Распределитель мощности выполнен с возможностью последовательно и без перерыва отдачи мощности распределять по существу постоянную мощность генератора постоянного тока на более чем две мишени (A, B, C, …, X) установки для нанесения покрытий, причем распределитель мощности содержит схему, соединяющую выход генератора постоянного тока со всеми более чем двумя мишенями (A, B, C, …, X), а другой выход генератора постоянного тока после первого омического резистора (RТ) в точке разветвления разветвляется в соответствии с количеством мишеней. Каждая мишень (A, B, C, …, X) соединена с одной из ветвей, причем ветви содержат соответственно по одному соотнесенному с мишенью первому переключателю (SA, SB, SC … SX), посредством которых может прерываться линия, ведущая к соотнесенной мишени. Второй омический резистор (RD) подсоединен при подключенном генераторе постоянного тока через второй переключатель (SD) параллельно более чем двум мишеням (A, B, C, …, X) и первому омическому резистору (RТ) к выходам генератора постоянного тока и предназначен для обеспечения стока мощности, в особенности во время интервала восстановления мощности и/или при дугообразовании. Кроме того, изобретение относится к источнику ионного распыления, содержащему вышеописанный мощный генератор. Технический результат - повышение надежности работы мишени. 2 н. и 7 з.п. ф-лы, 4 ил.
Изобретение относится к способу предоставления импульсов мощности для PVD-распыляемого катода, который содержит компонент приема мощности и частичный катод, при этом во время интервала нарастания мощности генератора мощность в компоненте приема мощности снижается, а затем мощность снижается на частичном катоде, причем переключение осуществляется таким образом, что отдача мощности от генератора, предоставляющего мощность, не должна прерываться. Технический результат – упрощение изменения длительности импульсов мощности в больших интнервалах. 5 з.п. ф-лы, 3 ил.
ИСТОЧНИК ПЛАЗМЫ // 2622048
Изобретение относится к источнику плазмы, который плавающим образом расположен на вакуумной камере, причем источник плазмы содержит корпус источника и в корпусе источника предусмотрена размещенная изолированно от него нить накала. Причем предусмотрены средства для измерения падения потенциала между корпусом источника и нитью накала. Измеренное падение потенциала может применяться для регулирования напряжения, нагревающего нить накала. Технический результат - повышение срока службы нити накала. 3 н. и 4 з.п. ф-лы, 6 ил.
Изобретение относится к области нанесения покрытий, к способу обеспечения импульсов мощности с линейно изменяемым интервалом импульсов мощности для распылительных катодов PVD, которые разделены на частичные катоды, при этом действующие на частичных катодах интервалы импульсов мощности выбраны таким образом, что они перекрываются. Технический результат - непрерывность отбора мощности от поставляющего мощность генератора. 2 н. и 8 з.п. ф-лы, 1 ил.
Изобретение относится к изготовлению по меньшей мере одной очищенной подложки, особенно, очищенных таким образом режущих частей инструментов, очищенные подложки которых могут быть подвергнуты дополнительной технологической обработке до и/или после очистки, например, посредством нагрева и/или нанесением на них покрытия
