Патенты автора ШТАРК Курт (DE)

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОНКИХ СЛОЕВ СИЛИКОНА, ТОНКИЙ СИЛИКОН И ЕГО ПРИМЕНЕНИЕ // 2426756

Изобретение относится к способу получения тонких слоев силикона, к полученному этим способом тонкому силиконовому слою и к применению тонкого силиконового слоя