FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора Запевалин Александр Иванович (RU)
ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ ПОВЫШЕННОЙ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ НА ОСНОВЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКОЙ СИСТЕМЫ С ТОНКОПЛЕНОЧНЫМИ ТЕНЗОРЕЗИСТОРАМИ
// 2427810