Патенты автора МОЛНАР Майкл (US)

Изобретение относится к способу получения кремния. В способе используют подачу травильного газа около стенок реактора с псевдоожиженным слоем. Травильный газ состоит по существу из тетрахлорсилана. В этот процесс может быть интегрирован реактор Сименса таким образом, что отходящие из него газы используют в качестве исходного газа и/или травильного газа, которые подают в реактор с псевдоожиженным слоем. Изобретение позволяет устранить отложения кремния на стенках реактора с псевдоожиженным слоем. 3 н. з., 17 з. п. ф-лы, 3 ил.

Изобретение относится к энергетике. Представлена производственная установка для осаждения материала на несущую подложку и электрод для использования в такой производственной установке. Несущая подложка имеет первый конец и второй конец, находящиеся на расстоянии друг от друга. На каждом конце несущей подложки расположено контактное гнездо. Установка включает в себя корпус, который образует камеру. По меньшей мере один электрод расположен проходящим через корпус для приема контактного гнезда. Электрод включает в себя внутреннюю поверхность, которая образует канал. Электрод нагревает несущую подложку до необходимой температуры осаждения за счет непосредственного прохождения электрического тока через несущую подложку. В проточном сообщении с каналом электрода находится охладитель для уменьшения температуры электрода. На внутренней поверхности электрода расположено покрытие канала для предотвращения потерь при теплопередаче между охладителем и внутренней поверхностью. Изобретение позволяет улучшить производительность и увеличить срок службы электрода. 2 н. и 25 з.п. ф-лы, 6 ил.
Мы будем признательны, если вы окажете нашему проекту финансовую поддержку!

 


Наверх