FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора Сагунова Ирина Владимировна (RU)
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК КАРБИДА ВОЛЬФРАМА
// 2430017
Изобретение относится к области нанотехнологии и наноэлектроники, а именно к получению тонких пленок карбида вольфрама