Патенты автора Гончаров Олег Юрьевич (RU)

Изобретение относится к способу газофазного осаждения покрытий карбидов тантала на поверхности изделия и может быть использовано для создания защитных покрытий, с высокой твердостью, стойкостью к эрозии и абляции, например, на изделиях из графита и углерод-углеродных композитах в камерах сгорания и соплах авиадвигателей, для создания износостойких твердых покрытий и покрытий с высокими антифрикционными свойствами, для покрытий, играющих роль диффузионного барьера для кислорода и других элементов в изделиях микроэлектроники, в таких, как электрод затвора в структурах оксид-металл-полупроводник n-типа, для покрытий, аккумулирующих солнечную энергию и перспективных для создания элементов солнечных батарей. Способ газофазного осаждения карбидов тантала на поверхность изделия включает подачу паров галогенида тантала, паров галогенида углерода и паров металла-восстановителя к поверхности изделия. Пары указанных веществ транспортируют в потоках инертных газов-носителей по различным каналам к поверхности изделия. При осаждении карбидов тантала на поверхность изделия вблизи поверхности обеспечивают смешение реагентов при элементном составе смеси с соотношениями Та/С от 0,1 до 10 и Me/(G1+G2) от 0,1 до 10 и нагрев реагентов до температур 850-1400 K, при этом Me – металл восстановитель, G1 – галоген, используемый в галогениде Ta, G2 – галоген, используемый в галогениде углерода. Обеспечивается осаждение покрытия карбидов тантала на поверхности изделий при более низких температурах осаждения, при снижении требований к применяемому оборудованию и повышенной безопасности проведения процессов осаждения с получением покрытий улучшенного качества. 4 з.п. ф-лы, 1 ил.

Изобретение относится к способу газофазного осаждения покрытий тантала на поверхности изделий и может быть использовано для создания защитных покрытий, например, на оружейных стволах, в печатающих головках струйных устройств, биомедицинских имплантатах, а также для создания покрытий в изделиях микроэлектроники, например, в качестве диффузионного барьера между медью и кремнием, в качестве электрода затвора в полупроводниковых полевых транзисторах. Способ газофазного осаждения тантала на поверхность стального изделия включает подачу паров галогенида тантала и паров восстановителя к поверхности стального изделия. В качестве восстановителя используют кадмий, цинк, магний или алюминий. Пары галогенида тантала и пары восстановителя транспортируют к поверхности стального изделия в потоках инертных газов-носителей раздельно. Перед осаждением на поверхность стального изделия обеспечивают смешивание упомянутых паров галогенида тантала и паров восстановителя в соотношении от 1:1 до 1:10 и их нагрев до 500-1400оС. В частных случаях осуществления изобретения в качестве галогенида тантала используют бромид тантала. В качестве галогенида тантала используют иодид тантала, при этом в поток иодида тантала добавляют пары йода. Обеспечивается осаждение покрытий тантала на поверхности изделий в безводородной атмосфере при относительно низких температурах осаждения, что улучшает качество покрытий, обеспечивает безопасность работы и снижает требования к оборудованию. 2 з.п. ф-лы, 1 ил., 1 пр.

Изобретение относится к области дозирования реагентов в поток газа-носителя с раздельной подачей реагентов в реакционную камеру. Дозатор-смеситель содержит корпус, испарители и нагреватели, поддерживающие заданную температуру для испарения реагентов, и два испарителя, установленные друг над другом и закрытые через прокладки крышками с отверстиями для подачи газа-носителя. Испарители выполнены со спиральными перегородками, образующими спиральные каналы, в которые загружен реагент для насыщения газа-носителя, коаксиально установленные сопловые вкладыши, образующие каналы для подачи насыщенной парогазовой смеси по сопловым каналам в реакционную камеру, и буферную зону, расположенную между упомянутыми двумя испарителями, полость которой выполнена герметичной от соседних зон испарения испарителей, для подачи в нее парогазовой смеси, подготовленной вне реактора, и с возможностью подачи парогазовой смеси из нее по сопловому каналу в реакционную камеру. Техническим результатом предлагаемого решения является обеспечение точности регулирования состава соединений, получаемых в результате взаимодействия реагентов, простота и компактность конструкции. 1 ил.

Изобретение относится к области получения неорганических, в частности железооксидных, пигментов, применяемых для производства красок, которые могут найти применение в промышленности строительных материалов (для получения цветных бетонов, тротуарной плитки, грунтовок, эмалей, красок), а также к области утилизации отходов станций водоподготовки - шламов, выделенных из железистых подземных вод при их очистке для производственных и хозяйственно-бытовых нужд населения

Изобретение относится к обработке материалов давлением, в частности к прессам для брикетирования

 


Наверх