Патенты автора Коломийцев Алексей Сергеевич (RU)

Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии. Изобретение обеспечивает детектирование ближнепольного оптического сигнала с максимальной точностью, интенсивностью и разрешающей способностью, и минимальными потерями, в сочетании с возможностью получения изображений рельефа поверхности в режиме атомно-силовой микроскопии. Способ изготовления апертурных зондов для ближнепольной оптической микроскопии включает формирование сквозного отверстия с входной апертурой для оптического излучения диаметром от 1 до 35 мкм, формирование полого конического острия зонда в балке кантилевера методом локального ионно-лучевого травления фокусированным ионным пучком, формирование полого конического острия зонда высотой от 500 нм до 30 мкм, углом конусности от 10 до 110 градусов, методом ионно-стимулированного осаждения материала, причем диаметр основания конуса больше диаметра входной апертуры. 3 з.п. ф-лы, 5 ил.

Изобретение относится к области нанотехнологии и наноматериалов, изготовлению и обработке наноструктур и может быть использовано для создания солнечных элементов, элементной базы наноэлектроники и наносистемной техники, зондов в сканирующей зондовой микроскопии, чувствительных элементов датчиков, проводящих каналов транзисторов, наполнителей композитных материалов, защитных и теплоотводящих пленочных покрытий

 


Наверх