Патенты автора Максимова Валентина Дмитриевна (RU)
Изобретение относится к устройствам, предназначенным для удержания полупроводниковых пластин во время жидкостной обработки
Изобретение относится к устройствам, предназначенным для удержания полупроводниковых пластин во время диффузионной обработки