Патенты автора Панкратова Елена Александровна (RU)
Изобретение относится к способам общего назначения для обработки материалов с помощью электрической энергии и может быть использовано в технологии полупроводниковых приборов
Изобретение относится к области полупроводниковой электроники, в частности к технологии полупроводниковых приборов
