Патенты автора КАТО Тецуя (JP)
ЗОЛОТАЯ РАСПЫЛЯЕМАЯ МИШЕНЬ // 2785130
Группа изобретений относится к золотой распыляемой мишени и способу ее изготовления, которые могут использоваться, например, в кварцевых генераторах для изготовления электродов возбуждения с напыленной пленкой Au. Золотая мишень выполнена из золота и неизбежных примесей и имеет поверхность, подлежащую распылению. В золотой распыляемой мишени среднее значение твердости по Виккерсу составляет 40 или более и 60 или менее, а средний размер кристаллического зерна составляет 15 мкм или более и 200 мкм или менее. Показатель N ориентации кристаллографических плоскостей {110} золота составляет более 1. Указанный показатель N является наибольшим среди показателей N ориентации всех кристаллографических плоскостей золота, основанных на отношении интенсивности дифракции каждой из кристаллографических плоскостей золота, полученных с помощью рентгеновской дифракции для подлежащей распылению поверхности. Способ изготовления золотой распыляемой мишени включает приготовление золотой заготовки из золотого слитка, обработку золотой заготовки с получением пластинчатой золотой распыляемой мишени или с получением трубчатой золотой распыляемой мишени и термообработку. При осаждении пленки Au с использованием указанной выше золотой распыляемой мишени получают пленку Au, удовлетворяющую требованиям равномерности распределения толщины пленки. 2 н. и 11 з.п. ф-лы, 15 табл., 29 пр.
