FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора Лизюков Евгений Васильевич (RU)
ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЬ И УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ НА ЕГО ОСНОВЕ
// 2437964
Изобретение относится к подложкодержателю и установке для нанесения покрытий методом магнетронного распыления