FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора ШИЛЛИНГЕР Норберт (DE)
СПОСОБ ПРОИЗВОДСТВА КРЕМНИЕВОЙ ПЛЕНКИ НА ПОВЕРХНОСТИ СУБСТРАТА ОСАЖДЕНИЕМ ПАРОВ
// 2438211
Изобретение относится к солнечным элементам и к новому использованию тетрахлорида кремния