FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора СНЕК Сами (FI)
ТЕРМОИСТОЧНИК
// 2439196
Изобретение относится к термоисточнику, используемому в устройствах для осаждения из паровой фазы для подачи исходного вещества в реактор