Патенты автора Конев Михаил Владимирович (RU)
СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ БЕЗГИСТЕРЕЗИСНОГО АКТЮАТОРА С ЛИНЕЙНОЙ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ХАРАКТЕРИСТИКОЙ // 2539104
Изобретение относится к области изготовления устройств точного позиционирования на основе пьезоэлектрических актюаторов, характеризующихся широким интервалом рабочих температур, в частности для изготовления прецизионных безгистерезисных сканеров сканирующих зондовых микроскопов и устройств юстировки оптических систем. Сущность: способ включает соединение плоскостями по меньшей мере двух монодоменных монокристаллических пластин ниобата лития или танталата лития таким образом, чтобы направления спонтанной поляризации в пластинах были противоположны друг другу. Для этого предварительно отполированные соединяемые плоскости пластин ниобата лития или танталата лития очищают таким образом, чтобы обеспечить их гидрофильность. Затем пластины соединяют плоскостями, сжимают пластины до исчезновения интерференционных колец, после чего отжигают для формирования бидоменной пластины. На противоположные плоскости пластины наносят электроды из материала, устойчивого к высоким температурам. Технический результат: возможность получение безгистерезисных актюаторов с линейной характеристикой, работоспособных в широком интервале температур, повышение технологичности. 1 з.п. ф-лы, 5 ил.
Изобретение относится к нелинейной оптике
