Патенты автора Шевченко Евгений Фёдорович (RU)
ГЕНЕРАТОР ПЛАЗМЫ // 2441354
Изобретение относится к технике получения плазмы, частиц вещества, пучков ионов и электронов и может быть использовано при обработке деталей плазмой, а также в электронных и ионных источниках для нанесения покрытий, модификации поверхностей
