Патенты автора Волынцев Анатолий Борисович (RU)
Использование: для создания функциональных элементов интегральных оптических схем. Сущность изобретения заключатся в том, что способ включает в себя этапы, на которых задают форму и размеры части поверхности подложки, подлежащей воздействию плазмы; обрабатывают заданную часть поверхности подложки плазмой, при этом плазма содержит ионы водорода с энергиями менее 10 кэВ. Технический результат: обеспечение возможности повышения качества структуры приповерхностного слоя получаемого функционального элемента. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.
Изобретение относится к области обеспечения вибрационных и микроклиматических условий и может найти применение в производственных, испытательных и поверочных лабораториях
Изобретение относится к области медицины, а именно к кардиологии и лабораторной диагностики
