Патенты автора СИМИЗУ Ютака (JP)
ДЕТАЛЬ ИЗ ИСКУССТВЕННОГО КВАРЦА, СПОСОБ ЕЕ ИЗГОТОВЛЕНИЯ И ВКЛЮЧАЮЩИЙ ЕЕ ОПТИЧЕСКИЙ ЭЛЕМЕНТ // 2441840
Изобретение относится к технологии изготовления детали из искусственного кварца для применения в качестве оптического элемента для ArF-литографии, подлежащего облучению лазерным светом, имеющим длину волны 200 нм или короче
