FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора Белых Анна Васильевна (RU)
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ТОПОЛОГИЧЕСКОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ В ПЛЕНКЕ ХРОМА
// 2442239
Изобретение относится к фотолитографии и может быть использовано в микроэлектронике