FindPatent.ru
Патентный поиск
Найти
Регистрация патентов
Патенты автора СЕРВИНИ Адриан (US)
ПОВЫШЕНИЕ ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТИ ОСАЖДЕНИЯ ПОЛИКРЕМНИЯ В РЕАКТОРЕ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ПАРОВОЙ ФАЗЫ
// 2442844
Изобретение относится к производству поликремния, а именно к реактору для химического осаждения поликремния из паровой фазы